带薄膜滤光片的软X射线二极管探测器
集成薄膜滤光片的光电二极管存储和工作温度在环境下是-10°C~40°C，在氮气或真空是-20°C至80°C，引线焊接温度是260°C。OptoDiode生产集成薄膜滤光片，用于检测太阳EUV辐射、软X射线辐射测量、X射线和EUV光刻、X射线显微镜和XUV光谱。美国OptoDiode还生产光学滤光片窗口、日光滤光片和多波长封装组件。
OptoDiode集成薄膜滤光片光敏二极管检测范围是1-80nm，有效面积是100mm²，发货时带有保护罩，可以避免元件受损。美国集成薄膜滤光片的光电二极管用于电子检测，电压直流反向最大值10伏，灵敏度0.09-0.15A/W，波长范围是3-40nm。OptoDiode滤光片光电二极管采用薄膜沉积工艺。
| 型号 | 产品描述 | 有效面积（mm^2） | 响应度（A/W） | 滤光范围（nm） | 探测范围(nm) | 电容(pF) |
| AXUV100TF030 | 薄膜滤光片软X射线二极管探测器 | 100 | 0.16@3.5nm | 3 | 1-12 | 10000 |
| AXUV100TF400 | 薄膜滤光片软X射线二极管探测器 | 100 | 0.15@13.5nm | 40 | 18-80 | 10000 |
| SXUV100TF135 | 薄膜滤光片软X射线二极管探测器 | 100 | 0.09@13.5nm | 13.5 | 12-18 | 260 |
AXUV100TF030光谱范围曲线
AXUV100TF400光谱范围曲线
SXUV100TF135光谱范围曲线
